品名： 贝意克磁力拉杆式硫化钼制备CVD设备

型号： BTF-1200C-CVD 磁力拉杆 产品详情 金山科研平台现货促销

此设备特点是将硫粉放于左端冷区，当硫化过程开始时利用拉杆式将硫粉推进热场。控制电路选用模糊PID程控技术，具有控温精度高，温冲幅度小，性能可靠，简单易操作。同样也适用于CVD工艺，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

技术参数

	炉管尺寸：	外径Φ25/50/60/80/100*1000mm（可选）
	极限温度：	1200℃
	工作温度：	≤1100℃
	温度控制器：	PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率，30段可编程控制器
	升温速率：	≤50℃/min
	加热区：	200+200mm
	恒温区：	100+100mm
	控温精度：	±1℃
	电源：	单相220V，交流50Hz
3路质量流量供气系统 （触摸屏控制）	**电压：	185~245V/50Hz
	**输出功率：	18W
	流量计标准量程：	100，200，500SCCM （非特殊指定以氮气标定，量程可选定）
	工作温度：	5~45ºC
	工作压差：	0.1～0.5MPa
	**压力：	3MPa
	准确度：	±1.5%FS
低真空系统	抽速：	8.11m³/h
	极限总压：	3×10-3mabr
	进排气口：	DN25KF
	噪音 （气镇开关时，距离1米处测量）	54dB
	注油量：	0.7-1.1L
	重量：	21Kg
	工作温度：	10~40℃
	功率：	550W