一、技术参数：

3.1整机：一体式集成，包含空气压缩系统、净化系统、存储系统和氮气制备系统

3.1.1氮气流速30L/min

3.1.2纯度99%

3.1.3氮气压力为80psi，且压力可调，可满足前端设备的供气压力要求

3.1.4PAEs(邻苯二甲酸酯)：无

3.1.5压力露点：＜－45℃

3.1.6使用环境温度：5~35℃

3.1.7 使用环境湿度：0~80%，无冷凝

3.1.8电压220V,功率1.6KW

3.1.9外形尺寸（长×宽×高mm）：360×600×650

3.2空气压缩系统：内置无油空气压缩机，双空压机技术，

3.3净化系统：

3.3.1采用4级超精密过滤系统

3.3.2过滤精度：颗粒<0.01um@0.003mg/m3

3.3.3高通量设计，空气处理量不小于400L/min

3.3.4过滤系统带智能堵塞报警功能，避免因失效造成的损失

3.3.5采用大功率冷凝除水系统，确保获得干燥的空气流